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    應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體

2024-03-04
超級(jí)管理員

　　由于石英管具備一系列優(yōu)良的特性，也因此被廣泛地應(yīng)用于現(xiàn)代化先進(jìn)半導(dǎo)體工藝制程中。所應(yīng)用的領(lǐng)域遍及半導(dǎo)體光刻工藝、高溫工藝、等離子工藝等多種場合。其中，用量較大的石英管是退火、氧化、擴(kuò)散等高溫工藝中所使用的石英爐管及與之相配套的石英舟等。不過，需要注意的是，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)石英管的純度要求極高。



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